| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2022년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)) |
| 권호 | 26권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-무기재료 |
| 제목 | Ar+O2 혼합가스를 이용한 프리스퍼터링이 ITO 박막의 전기광학적 물성에 미치는 영향. |
| 초록 | 투명전극 소재 중 가장 우수한 특성을 보이는 ITO는 일반적으로 스퍼터링증착으로 제조되며, 소량의 산소가 첨가된다. 이 때, 타겟 표면은 산화되어, 박막 성장 및 물성에 영향을 미친다. 산소첨가량 최적화를 위해 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 ITO 박막을 증착하였다. MFC 가스로 산소 기체와 순수 Ar 기체를 사용하여 산소와 아르곤의 유량을 바꾸며 산소 기체의 분압을 0.05%에서 0.8%까지 조절하였다. 증착전 타겟 프리스퍼터링 과정에서 산소를 첨가하여 얻은 박막을 평가하여 30분정도 산소 프리스퍼터링 과정이 필요함을 확인하였다. 4point probe, Hall효과측정시스템, 투과율 측정장치를 이용하여, 5mTorr의 working pressure하에서는 0.3% O2 조건에서 최소 비저항이 얻어졌으며, 증착압력을 낮추면 추가로 비저항이 감소하였다. 1mT, 0.1% O2 조건에서 비저항 5.1 ×10-4Ohm·cm, 투과율 84.9%의 우수한 결과를 얻을 수 있었다. |
| 저자 | 전은영, 김시현, 전찬욱 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | ITO; 스퍼터링; DC; 혼합가스; 타겟 |
