| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2005년 봄 (05/26 ~ 05/27, 무주리조트) |
| 권호 | 11권 1호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | PVD법에 의해 제조된 WO3 박막과 SnO2 박막의 전기적 특성에 관한 연구 |
| 초록 | 스크린 프린팅법을 이용하여 Dual 전극을 Pt 페이스트를 이용하여 Al2O3 기판위에 인쇄하였다. 한쪽 전극에는 NiO-WO3 박막을 고진공 저항 가열식 방법으로 증착 하였고, 다른 한쪽 전극에는 SnO2를 sputtering법을 이용하여 증착하여 Dual sensor를 제조 하였다. 제조된 Dual sensor는 결정성 증진을 위해 공기 중에서 500℃와 700℃에서 6시간 열처리 하였다. 박막의 결정성 및 결정구조는 X-선 회절 분석기를 사용하였고, 표면 특성은 주사전자현미경을 이용하였다. NOx 가스 5ppm, CO 가스 50ppm을 각각 흘려주거나 동시에 같은 양의 가스를 흘려주며 저항 변화를 측정하였다. NiO-WO3 박막은 작동온도 250℃에서 NOx 가스에 대한 감도가 가장 높이 나타났으며 SnO2 박막은 작동온도 400℃에서 CO 가스에 대한 감도가 가장 높이 나타났다. |
| 저자 | 나동명, 박진성 |
| 소속 | 조선대 |
| 키워드 | PVD; SnO2; WO3; CO gas; NOx gas |
