| 초록 |
최근 플라즈마 디스플레이 패널산업에서는 광학적, 열적, 기계적 및 전기적 특성이 우수한 저 융점의 PbO계 유리재료가 사용되었다. 그러나 환경유해물질 규제에 따른 납유리 대체 재료와 디스플레이의 고화질 구현을 위한 에칭격벽공정의 대두로 무연유리조성물과 에칭 현상에 대한 관심도 커지고 있다. 본 연구는 에칭 수용액 내에서 유리로부터 용출되는 금속 이온의 정성, 정량분석을 시도하였다. 제조된 유리는 HNO3 수용액 내에서 농도와 시간의 변화에 따라 처리한 후, 유도결합플라즈마 질량 분석기(ICP), X-선 광전자 분광기(XPS), 라만분광기(Raman Spectrophotometer)를 이용하여 유리구조 분석과 유리표면의 이온용출형태를 분석 하였다. 그 결과로 유리 내 Ba 이온이 3-35ppm/min, Zn 이온이 2-27ppm/min의 속도록 용출되었으며, XPS의 결과로부터 O1s궤도 내에는 BO(Bridge Oxygen)와 NBO (Non-Bridge Oxygen) 결합비가 1:0.83에서 1:0.67 정도로 상대적으로 감소하는 경향을 보였다. 유리 표면에는 P, Na 이온이 가교 산소와 결합하여 겔층을 형성하였다. |
