| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2015년 봄 (05/14 ~ 05/15, 구미코) |
| 권호 | 21권 1호 |
| 발표분야 | D. 구조 재료 |
| 제목 | YAS(Y2O3-Al2O3-SiO2)계 frit과 알루미나 도가니의 열화학적 반응이 frit 물성 및 제조 공정에 미치는 영향 |
| 초록 | 최근 반도체 선폭의 미세화로 인해 가혹한 공정 환경과 내 플라즈마성이 우수한 소재를 요구함에 따라, 기계적 특성과 내 플라즈마성이 우수한 Y2O3-Al2O3-SiO2 (YAS)계 frit을 개발하여 알루미나에 용융 침투시켜 표면을 강화하고 내 플라즈마성을 향상 시키는 연구가 진행되고 있다. 산업현장에서 고융점의 유리나 frit을 대량으로 제조하려는 경우 경제적 이유와 화학적 내구성을 고려해 상대적으로 가격이 저렴한 알루미나계 세라믹스 도가니를 사용하는 경향이 있다. 그러나 알루미나계 도가니 적용 시 frit 원료와 도가니간의 열화학적 반응으로 제조 공정 중 도가니 파손이 일어나거나 frit 조성과 유리화능이 변화하는 등의 문제가 발생한다. 본 연구에서는 Y2O3, Al2O3, SiO2 분말을 조성비에 따라 혼합하고, 혼합 분말을 고순도 알루미나 도가니를 이용하여 용융시킨 후 YAS계 frit을 제조하였다. Y2O3-Al2O3-SiO2계 frit 원료와 알루미나 도가니간의 열화학적 반응 고찰을 통해 제조 시 발생하는 도가니 파손과 frit 조성변화의 원인을 관찰하고 이를 억제하기 위한 제조 공정을 제시하고자 하였다. |
| 저자 | 박의근, 오현명, 이현권 |
| 소속 | 금오공과대 |
| 키워드 | <P>YAS; Y2O3-Al2O3-SiO2; 알루미나 도가니</P> |
