| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2019년 가을 (10/30 ~ 11/01, 삼척 쏠비치 호텔&리조트) |
| 권호 |
25권 2호 |
| 발표분야 |
E. 환경/센서 재료 분과 |
| 제목 |
Pt 나노 입자를 이용한 2차원 MoS2 가스센서 |
| 초록 |
유해 가스에 대한 가스 센서는 인체 건강 보호와 환경 보호, 공정상의 유해 가스 검출 등에 이용된다. 2차원 이황화몰리브덴 (MoS2)은 가스 센서로써의 좋은 재료가 될 수 있는 잠재력을 지닌다. 이번 연구에서는 2차원 MoS2 위에 Pt 나노 입자를 올린 가스 센서를 통해 Pt를 올리지 않은 2차원 MoS2 가스 센서에 비해 향상된 민감도와 검출한계를 보고한다. Metal organic chemical vapor deposition을 이용하여 400℃에서 MoS2를 성장하고 MoS2 가스 센서를 제작하기 위해 E-beam evaporator을 이용하여 Au/Ti 전극을 형성하였다. Pt 나노 입자를 이용하지 않은 MoS2 가스 센서는 상온에서 NH3와 H2S를 각각 2.5 ppm과 30 ppm 까지 감지하였고 Pt 나노 입자를 이용한 MoS2 가스 센서는 상온에서 NH3와 H2S를 각각 130 ppb와 5 ppm 까지 감지하였다. |
| 저자 |
류종원1, 박재서2, 문지훈1, 김종호3, 신재철1, 강상우1
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| 소속 |
1한국표준과학(연), 2영남대, 3과학기술연합대 |
| 키워드 |
<P>MoS<SUB>2</SUB>; Pt 나노 입자; 가스 센서; NH<SUB>3</SUB>; H<SUB>2</SUB>S</P>
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