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Lift-off Fabrication Suitable for Design of Thick Multilayer Dielectric Reflective Film in Laser Direct Patterning Photo Mask for 1064nm Wavelength
인장식, 정대용, 지성엽, 김민규
한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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Characterization of various phenolic resins as spin-on carbon hardmask materials
노미소, 이병민, 최재학
한국고분자학회 2019년 봄 학술대회 |
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Thermodynamic and Kinetic Tuning of Block Copolymer Based on Random Copolymerization for High-Quality Sub-6 nm Pattern Formation
정연식
한국고분자학회 2018년 봄 학술대회 |
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Atomic Layer Deposition of low-k SiCN Thin Films using DTDN-2 precursor
김현준, 임경필, 정찬원, 조해원, 전형탁
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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GWP가 낮은 C3F6O/Ar 가스를 이용한 친환경 SiO2 식각 연구
김수강, 양경채, 신예지, 성다인, 탁현우, 염근영
한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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Improvement of line edge fluctuation and etching selectivity of self-assembled block copolymer patterns using a copolymerized block
송승원, 정연식
한국고분자학회 2017년 가을 학술대회 |
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HARC 식각을 위한 pulsed triple frequency 효과에 대한 연구
양경채, 김수강, 이호석, 성다인, 염근영
한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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9Remote plasma ALD of Silicon nitride at low temperature for gate spacer
김만석, 장우출, 김현정, 이재민, 이건영, 신창희, 권영균, 임희우, 전형탁
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Fabrication of nano-size silicon pillar pattern by block copolymer masking method
김두산, 김화성, 박진우, 염근영
한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Effect of Bias Frequency on the Etching of Magnetic Tunnel junction Materials
Geun Young Yeom, Kyong Nam Kim, Kyung Chae Yang, Sung Woo Park
한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
