| 번호 | 제목 |
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Enhanced Selectivity of Atomic Layer Deposited Ru Thin Films through the Discrete Feeding of Vapor-Phase Inhibitor Jeong-Min Lee, Ji Won Han, Tae Joo Park, Woo-Hee Kim 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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High Quality Nickel Atomic Layer Deposition for Nanoscale Contact Applications Woo-Hee Kim, Han-Bo-Ram Lee, Kwang Heo, Seunghun Hong, Hyungjun Kim 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
