| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Preparation of Sb thin film by Remote Plasma Assisted atomic layer deposition using Tri-isopropyl-antimony 정 훈, 김연홍, 로자나, 이준기, 김도형 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Preparation of Sb thin film by Remote Plasma Assisted atomic layer deposition using Tri-isopropyl-antimony 정 훈, 김연홍, 로자나, 이준기, 김도형 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |