화학공학소재연구정보센터
번호 제목
29 Solid-state dewetting mediated imprinting process of gold nanodot array for ITO-free photovoltaic devices
조재상, 장웅식, 박금환, 왕동환
한국고분자학회 2021년 봄 학술대회
28 First principles study on selective etching of silicon nitride over silicon dioxide by phosphoric acid
박소용, 정현욱, 김준엽, 한병찬
한국재료학회 2021년 봄 학술대회
27 Development of semiconductor fabrication process for nanobiosensor device & applications
이경균
한국공업화학회 2021년 가을 학술대회
26 Bridging technology between molecular dynamic simulation and density function theory for plasma etching process
박재형, 육영근, 유혜성, 오민주, 장원석, 배성민, 임연호
한국화학공학회 2020년 봄 학술대회
25 Lithographically Defined Carbon Patterns for Ultrathin Supercapacitors
문준혁, 강다영
한국고분자학회 2016년 봄 학술대회
24 Simulation of the kinetic models of plasma deposition and etching in semiconductor fabrication
유혜성, 임연호, 장원석, 육영근, 유동훈, 최광성
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회
23 Hydrogen and Moisture Getter by Porous SiO2/Si Substrate including Various Metals at Room Temperature
엄누시아, 임효령, 조정호, 좌용호
한국재료학회 2016년 가을 학술대회
22 Advanced 3D feature profile simulation with a realistic plasma surface reaction model
육영근, 임연호, 유혜성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 최광성
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회
21 Charge-up simulation coupled with unified semi-global surface model  for UHARC plasma etching in semiconductor fabrication  
임연호, 최광성, 유동훈, 조덕균, 육영근, 장원석, 유혜성
한국화학공학회 2015년 가을 학술대회
20 Manufacturing of Functional Micro Metallic Patterns and Features Using Electroplating Technique
이주열
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회