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Solid-state dewetting mediated imprinting process of gold nanodot array for ITO-free photovoltaic devices 조재상, 장웅식, 박금환, 왕동환 한국고분자학회 2021년 봄 학술대회 |
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First principles study on selective etching of silicon nitride over silicon dioxide by phosphoric acid 박소용, 정현욱, 김준엽, 한병찬 한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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Development of semiconductor fabrication process for nanobiosensor device & applications 이경균 한국공업화학회 2021년 가을 학술대회 |
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Bridging technology between molecular dynamic simulation and density function theory for plasma etching process 박재형, 육영근, 유혜성, 오민주, 장원석, 배성민, 임연호 한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
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Lithographically Defined Carbon Patterns for Ultrathin Supercapacitors 문준혁, 강다영 한국고분자학회 2016년 봄 학술대회 |
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Simulation of the kinetic models of plasma deposition and etching in semiconductor fabrication 유혜성, 임연호, 장원석, 육영근, 유동훈, 최광성 한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
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Hydrogen and Moisture Getter by Porous SiO2/Si Substrate including Various Metals at Room Temperature 엄누시아, 임효령, 조정호, 좌용호 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Advanced 3D feature profile simulation with a realistic plasma surface reaction model 육영근, 임연호, 유혜성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 최광성 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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Charge-up simulation coupled with unified semi-global surface model for UHARC plasma etching in semiconductor fabrication 임연호, 최광성, 유동훈, 조덕균, 육영근, 장원석, 유혜성 한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
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Manufacturing of Functional Micro Metallic Patterns and Features Using Electroplating Technique 이주열 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |