학술대회 목록보기 번호 제목 1 ECR plasma etching을 이용한 2차원 photonic crystal structure 제작 및 특성평가에 관한 연구|A study on fabrication and evaluation of characteristics of 2-dimensional photonic crystal structure using ECR plasma etching문강훈, 신수범, 안진호한국재료학회 2004년 가을 학술대회 1