| 번호 | 제목 |
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| 3 |
Post Ion Implanted Photoresist Stripping Using Supercritical Carbon Dioxide 김민성, 임종성, 유기풍 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
| 2 |
Preparation of ion-implanted photoresist film using supercritical carbon dioxide and additive 장원호, 원종우, 임종성, 유기풍 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
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A study on the dry cleaning of patterned wafer using single-phase mixtures with supercritical carbon dioxide 한갑수, 임종성, 유기풍 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
