화학공학소재연구정보센터
번호 제목
6 Cu interconnection in CMOS devices (CMOS 소자에서의 구리 배선)
김재정
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회
5 The effects of amine-content in cleaning solutions on the residue removal of Cu interconnection
고천광, 이원규
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
4 Electroless plating of CoWP and NiMoP films for Capping Layers in Cu interconnection
이혜민, 남궁윤미, 김창구
한국공업화학회 2008년 봄 학술대회
3 Effects of pH and Temperature on Electroless Plating of CoWP Thin Films for Cu Interconnection
김태호, S.M.S.I. Dulal, 김창구
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
2 Electroless Plating of CoWP Thin Films Using Alkali-Free Chemicals
김태호, S.M.S.I. Dulal, 김창구
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
1 Effect of Process Variables on the Properties of Electrodeposited CoWP Films
윤형진, S. M. S. I. Dulal, 신치범, 김창구
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회