화학공학소재연구정보센터
번호 제목
6 Enhanced Nucleation of High-k Dielectric Films using Atomic Layer Deposition on Graphene
Soo Bin Kim, Kang Min Lee, Hyeok Jae Lee, Sang Woon Lee
한국재료학회 2017년 가을 학술대회
5 Al2O3/HfO2 Moisture Barrier films on Polymer grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
김래호, 장진혁, 박선욱, 정용진, 백용화, 박찬언
한국고분자학회 2016년 봄 학술대회
4 용액 공정을 이용한 TFT 용 High-k 절연층 제작
한현규, 강태훈, 하철호, 박도휘, 주명양, 전호영, 류시옥
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회
3 용액공정을 이용한 TFT 용 High-k 산화알루미늄 절연층 제작
한현규, 강태훈, 박도휘, 하철호, 전호영, 주명양, 류시옥
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회
2 리모트 플라즈마 원자층 증착 기술 및 high-k 응용
Hyeongtag Jeon, Hyungchul Kim
한국재료학회 2010년 봄 학술대회
1 Non-saturated Atomic Layer Deposition for Composition Adjustment in Al2O3-HfO2 Thin Films
정회성, 김지혜, 강상원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회