화학공학소재연구정보센터
번호 제목
6 Effect of Particle Agglomeration by Air Bubble during Tungsten (w) CMP Process
김동규, 정연아, 한광민, 한소영, 진승완, Nagendra Prasad Yerriboina, 김태곤, 박진구
한국재료학회 2020년 봄 학술대회
5 DHF을 사용한 Brush scrubbing에 발생하는 PVA brush의 변화 연구
진승완, 황준길, 한광민, 김동규, 조휘원, 김태곤, 박진구
한국재료학회 2020년 봄 학술대회
4 Mechanistic Study of Different Cleaning Methods to Remove Ceria Particles from Silicon Oxide Surface
한소영, 박진구, Samrina Sahir, Nagendra Prasad Yerriboina, 한광민
한국재료학회 2019년 가을 학술대회
3 다양한 조성 및 물리적 특성을 가진 Glass 기판의 연마 특성 비교  
한광민, 조병준, 이정환, 조시형, 서영길, 박진구
한국재료학회 2016년 봄 학술대회
2 사파이어 DMP 공정에서 여러 조성비를 갖는 구리-수지정반의 제작 및 최적화
박진구, 한광민, 김진용, 박건호, 이정환, 조병준, 김동하
한국재료학회 2015년 가을 학술대회
1 미세 광소자의 직접 광제작을 위한 포토 하이브리머의 높은 광민감성
강동준, 김진기, 배병수
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회