번호 | 제목 |
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6 |
Single Chamber에서 시간 분할 ALD Valve Monitoring & Control이 가능한 고성능 Fault Detection & Classification 시스템 개발 임성호, 강재희, 정필영, 이용준, 박영훈, 전진호 한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
5 |
Advanced Metallization of Contact Fill Tungsten Thin Film Process with Controllable Growth System 김태성, 최석규, 박홍기, 선우훈, 김동우, 박진우, 권주연, 이건정, 윤원준, 전진호 한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
4 |
The Development of Stress Controllable ALD_LFW 전진호, 박영훈 한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
3 |
The Development of High Temperature ALD_TiN 전진호, 박영훈 한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
2 |
상용화제 첨가가 PLA/PC 블렌드의 특성에 미치는 영향 최우선, 전진호, 김영호 한국고분자학회 2014년 가을 학술대회 |
1 |
반도체 제조공정에서 wafer의 warpage가 노광공정에 미치는 영향성 정명호, 윤상호, 김형희, 김일환, 김종혁, 김상진, 전진호, 박준수, 이중현, 한우성, 문주태, 노용한 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |