| 번호 | 제목 |
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Inductive coupled plasma reactive ion etching characteristics of Ta thin films for hard mask applications 최지현, 아드리안, 황수민, 정지원 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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High density plasma reactive ion etching of Co2MnSi thin films using a CH3OH/Ar gas mixture for magnetic random access memory applications 아드리안, 최지현, 황수민, 정지원 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Comparison of etch characteristics of Ru thin films using CH3OH/Ar and CH4/O2/Ar plasmas 황수민, 아드리안, 최지현, 정지원 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
