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Highly Transparent Conducting Oxide Nanostructures Synthesized on Polymer Substrates
윤정흠, 왕웨이, 박연현, 이건환
한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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축전결합 CF4/O2/Ar 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate 건식식각 비교
노호섭, 박연현, 이성현, 박주홍, 송한정, 이제원
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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SF6/O2/CH4 플라즈마를 이용한 플렉시블 폴리머의 반응성 이온 식각에 관한 연구
주영우, 김재권, 박연현, 노호섭, 이제원
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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O2/SF6/CH4 플라즈마를 이용한 Acrylic의 건식 식각
박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 조관식, 이제원
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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기계적 펌프 기반의 축전 결합형 BCl3/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각
김재권, 주영우, 박연현, 조관식, 이제원
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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기계적 펌프 기반의 축전 결합형 BCl3/N2와 Cl2/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식식각 비교
김재권, 노호섭, 주영우, 박연현, 박주홍, 조관식, 송한정, 이제원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Understanding of dry etching of polycarbonate based on O2 plasmas
주영우, 박연현, 노호섭, 김재권, 이성현, 조관식, 송한정, 이제원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Dry etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) in capacitively coupled SF6, SF6/Ar and SF6/CH4 plasmas.
박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 이진희, 이제원, 조관식, 송한정
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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다층 RIE Electrodes를 이용한 아크릴의 O2/N2 Plasma etching(O2/N2 Plasma etching of Acrylic in a Multi RIE Electrodes system)
김재권, 박연현, 백인규, 주영우, 김주형, 조관식, 이제원
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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O2/SF6 플라즈마를 이용한 Poly ethylene terephthalate(PET)의 건식 식각에 관한 연구(Dry Etching of Poly ethylene terephthalate(PET) in O2/SF6 Plasmas)
박연현, 주영우, 김재권, 백인규, 이진희, 이제원, 조관식
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
