| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
ICP를 이용한 BCl3/CH4/H2/Ar, Cl2/CH4/H2/Ar chemistries의 AZO와 ZnO 식각특성비교 이학주, 권봉수, 김현우, 김선일, 정호영, 노화영, 이내응 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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ICP를 이용한 BCl3/CH4/H2/Ar, Cl2/CH4/H2/Ar chemistries의 AZO와 ZnO 식각특성비교 이학주, 권봉수, 김현우, 김선일, 정호영, 노화영, 이내응 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |