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MEDICI와 SUPREM4를 이용한 폴리 실리콘 게이트의 벽면 기울기에 따른 NMOS 소자의 전기적 특성 분석 (A study of Electrical Characteristics of NMOS device with different sidewall angles of poly-silicon gate using MEDICI and SUPREM4)
노호섭, 김진수, 신주용, 송한정, 이제원
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각 (Reactive Ion Etching of GaAs in BCl3 plasma)
이성현, 노호섭, 최경훈, 박주홍, 조관식, 이제원
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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축전 결합형 O2 플라즈마를 이용한 아크릴과 폴리카보네이트의 식각 공정 비교 (Comparison of Capacitively Coupled O2 Plasma Etching of PMMA and Polycabonate at Different Process Regime)
박주홍, 이성현, 노호섭, 최경훈, 조관식, 이제원
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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축전결합 CF4/O2/Ar 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate 건식식각 비교
노호섭, 박연현, 이성현, 박주홍, 송한정, 이제원
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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SF6/O2/CH4 플라즈마를 이용한 플렉시블 폴리머의 반응성 이온 식각에 관한 연구
주영우, 김재권, 박연현, 노호섭, 이제원
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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O2/SF6/CH4 플라즈마를 이용한 Acrylic의 건식 식각
박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 조관식, 이제원
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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기계적 펌프 기반의 축전 결합형 BCl3/N2와 Cl2/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식식각 비교
김재권, 노호섭, 주영우, 박연현, 박주홍, 조관식, 송한정, 이제원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Understanding of dry etching of polycarbonate based on O2 plasmas
주영우, 박연현, 노호섭, 김재권, 이성현, 조관식, 송한정, 이제원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Dry etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) in capacitively coupled SF6, SF6/Ar and SF6/CH4 plasmas.
박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 이진희, 이제원, 조관식, 송한정
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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OES를 이용한 평판형 유도결합 BCl3/SF6 플라즈마 식각 특성 연구|A Study of Etching Characteristic in Planar Inductively Coupled BCl3/SF6 Plasma by OES
박민영, 이제원, 장수욱, 노호섭, 조관식, 박강수, 박건수, 윤진성
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
