번호 | 제목 |
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열 나노임프린트 공정을 이용한 SiC 나노입자 기반 마이크로-나노급 패턴 제작 채동우, 정진희, LIU YUTING, 정필훈, 변민섭, 이헌 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
35 |
Inductively Coupled Plasma Assissted Sputtering 방식으로 증착된 텅스텐 박막의 특성에 관한 연구 이수정, 김태형, 송창훈, 변지영, 김주은, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
34 |
Superhydrophobic wetting behaviour of Si surfaces having microrods 김창구, 조성운, 김준현 한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
33 |
대면적 ECR 플라즈마 소스를 이용한 배선공정용 구리시드막 증착 장수욱, 유현종, 김영우, 정용호, 황인욱, 박재양, 이헌 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
32 |
Se이 포함된 전구체를 이용한 CIGS 광 흡수층 제조 및 CIGS 박막 태양전지 제조 김재웅, 김진혁, 정채환 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
31 |
대구경 웨이퍼 공정을 위한 이중 주파수를 이용한 유도 결합 플라즈마 소스의 특성 연구 서진석, 김기석, 김태형, anurag mishra, 김경남, 염근영 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
30 |
고밀도 플라즈마 응용 고효율 스퍼터링 증착 공정 개발 김종국, 이승훈, 김창수, 강재욱, 김도근 한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
29 |
조직 손상 최소화를 위한 스테인리스 스틸(SUS 316L)의 세라믹 코팅 최적화에 대한 연구 조성만, 이경엽 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
28 |
하드 마스크(Hard mask) 제작을 위한 TiN 박막의 증착에 관한 연구 이도영, 정지원 한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 |
27 |
기계적 펌프 기반의 축전 결합형 BCl3/N2와 Cl2/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식식각 비교 김재권, 노호섭, 주영우, 박연현, 박주홍, 조관식, 송한정, 이제원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |