화학공학소재연구정보센터
번호 제목
21 Structural and optical properties of flower and needle-shaped ZnO nanostructures by ALD
Umar Ahmad, 이 석, 김상훈, 라현욱, 한윤봉
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회
20 Preparation of TaN thin film By Plasma Assisted Atomic Layer Deposition using Tert-butylimino-tris-diethylamino tantalum  
김등관, 김도형
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회
19 Effect of buffer layer on structural and optical properties of ZnO films on Si substrates by atomic layer deposition
이 석, 김상훈, 라현욱, 한윤봉
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회
18 Structural and optical properties of ZnO nanoparticles grown by atomic layer deposition
이 석, Ahmad Umar, 임용환, 김상훈, 라현욱, 한윤봉
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회
17 Solid phase reaction을 통해 제조한 HfSiON 의 특성|Characterization of HfSiON as gate dielectrics fabricated by solid phase reaction
고한경, 이태호, 김철성, 안진호
한국재료학회 2004년 가을 학술대회
16 원자층 증착 방법에 의한 실리콘 질화막 특성에 관한 연구|The Characteristics of Silicon Nitride Thin Film by Atomic Layer Deposition
천민호, 한창희, 김운중, 이원준, 이연승, 나사균
한국재료학회 2004년 가을 학술대회
15 원거리 플라즈마 ALD(Atomic Layer Deposition)법으로 증착한 ZrN 확산방지막의 특성에 관한 연구|Characteristics of ZrN deffusion barrier deposited by remote plasma enhanced atomic layer deposition method
황윤철, 조승찬, 김인배, 김양도, 김주연, 전형탁
한국재료학회 2004년 가을 학술대회
14 액상전극을 이용한 분자전자소자용 나노스케일유기초박막의 전하이동특성 평가|Study on Charge Transport In Nanoscale Organic Monolayers for Molecular Electronics Using Liqyid Phase Electrodes
소병수, 유일환, 황진하
한국재료학회 2004년 가을 학술대회
13 후속 열처리가 ALD로 성막된 Al2O3 박막의 유전특성에 미치는 영향|Effect of Post-Treatments on Electrical/Dielectric Properties of Al2O3 Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition
소병수, 김성문, 황진하, 김영환, 조원태, 안기석
한국재료학회 2004년 가을 학술대회
12 Properties of ZnO thin films with various buffer layer thickness deposited by Atomic Layer Deposition
이 석, 임용환, 한윤봉
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회