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Structural and optical properties of flower and needle-shaped ZnO nanostructures by ALD Umar Ahmad, 이 석, 김상훈, 라현욱, 한윤봉 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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Preparation of TaN thin film By Plasma Assisted Atomic Layer Deposition using Tert-butylimino-tris-diethylamino tantalum 김등관, 김도형 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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Effect of buffer layer on structural and optical properties of ZnO films on Si substrates by atomic layer deposition 이 석, 김상훈, 라현욱, 한윤봉 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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Structural and optical properties of ZnO nanoparticles grown by atomic layer deposition 이 석, Ahmad Umar, 임용환, 김상훈, 라현욱, 한윤봉 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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Solid phase reaction을 통해 제조한 HfSiON 의 특성|Characterization of HfSiON as gate dielectrics fabricated by solid phase reaction 고한경, 이태호, 김철성, 안진호 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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원자층 증착 방법에 의한 실리콘 질화막 특성에 관한 연구|The Characteristics of Silicon Nitride Thin Film by Atomic Layer Deposition 천민호, 한창희, 김운중, 이원준, 이연승, 나사균 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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원거리 플라즈마 ALD(Atomic Layer Deposition)법으로 증착한 ZrN 확산방지막의 특성에 관한 연구|Characteristics of ZrN deffusion barrier deposited by remote plasma enhanced atomic layer deposition method 황윤철, 조승찬, 김인배, 김양도, 김주연, 전형탁 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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액상전극을 이용한 분자전자소자용 나노스케일유기초박막의 전하이동특성 평가|Study on Charge Transport In Nanoscale Organic Monolayers for Molecular Electronics Using Liqyid Phase Electrodes 소병수, 유일환, 황진하 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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후속 열처리가 ALD로 성막된 Al2O3 박막의 유전특성에 미치는 영향|Effect of Post-Treatments on Electrical/Dielectric Properties of Al2O3 Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition 소병수, 김성문, 황진하, 김영환, 조원태, 안기석 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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Properties of ZnO thin films with various buffer layer thickness deposited by Atomic Layer Deposition 이 석, 임용환, 한윤봉 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |