화학공학소재연구정보센터(CHERIC) | 연구정보 | 문헌DB

학술대회 목록보기

번호	제목
31	Preparation of Cu thin films By Remote Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition using Copper(Ⅱ) dimethylamino-2-propoxide 윤동준, 김도형 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회
30	Depth profiling of copper deposited by electroless plating 김영순, Dar Mushtaq Ahmad, 서형기, 김형일, V. P. Godbole, 신형식 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회
29	Preparation of TaN thin film By H₂ Plasma Assisted Atomic Layer Deposition usingTert-butylimino-tris-ethylmethylamino tantalum 김등관, 김도형 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회
28	Atomic layer deposition of high quality ZnO films grown on homo buffer layer : structural and optical properties 이 석, 임용환, Umar Ahmad, 김상훈, 한윤봉 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회
27	Preparation of photocatalytic TiO₂ thin films by atomic layer deposition using TDMAT and H₂O₂ 로자나, 김도형 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회
26	45 nm 테크놀로지와 그 이후를 위한 금속계 나노 박막의 원자층 증착법\|ALD of metal nanofilms for 45 nm technology and beyond 김형준 한국재료학회 2005년 봄 학술대회
25	원자층 증착법으로 HfO₂ 박막이 코팅된 ZnS 형광체 분말의 발광 특성 향상\|Improvement of Luminescent Properties of ZnS Phosphor Powder Coated HfO₂ Thin Films by Atomic Layer Deposition Method 김형수, 김혁종, 김민완, 김휴석, 김석환, 이상우, 최병호 한국재료학회 2005년 봄 학술대회
24	MOMBE로 성장한 고유전 HfO₂ 박막의 화학적, 전기적 특성\|Properties of high-k HfO₂ films grown by MOMBE 문태형, 최지혁, 명재민 한국재료학회 2005년 봄 학술대회
23	PEALD 방법으로 증착된 La₂O₃ 게이트 산화물 박막의 전기적 특성\|Electrical properties of lanthanum oxide films deposited by Plasma Enhenced Atomic Layer Deposition 이은주, 김범용, 고명균, 박종완 한국재료학회 2005년 봄 학술대회
22	Tetrakis-diethylamido hafnium, trimethyl aluminum 그리고 water을 이용한 hafnia-alumina nano laminate 박막의 원자층 화학증착 김석훈, 이시우 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회