| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
ECR 플라즈마를 이용한 화학증착법및 건식산화법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 특성 전법주, 허정수, 오인환, 임태훈, 윤용수, 정일현 한국화학공학회 1996년 봄 학술대회 |
| 1 |
ECR 산소 플라즈마를 사용한 실리콘 산화막의 제조 허정수, 전법주, 오인환, 임태훈, 윤용수, 정일현 한국화학공학회 1996년 봄 학술대회 |
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ECR 플라즈마를 이용한 화학증착법및 건식산화법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 특성 전법주, 허정수, 오인환, 임태훈, 윤용수, 정일현 한국화학공학회 1996년 봄 학술대회 |
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ECR 산소 플라즈마를 사용한 실리콘 산화막의 제조 허정수, 전법주, 오인환, 임태훈, 윤용수, 정일현 한국화학공학회 1996년 봄 학술대회 |