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Nano size의 CO2 Gas cluster를 이용한 반도체 건식 세정에서 오염입자 제거와 미세 패턴 damage에 관한 연구
김민수, 강봉균, 이승호, 정지현, 윤덕주, 박진구
한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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Effect of Etching Process on Morphology of Polypropylene Blends
조인희, 원종일, 송시용, 최길영
한국고분자학회 2009년 봄 학술대회 |
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Stripping of photoresist residue on post metal etched wafer using supercritical carbon dioxide
김민성, 유기풍, 장원호, 김경환
한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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MEMs Drying using Supercritical Carbon Dioxide
장원호, 유기풍, 임종성, 권세호
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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오존수를 이용한 실리콘 웨이퍼 연마 후 지용성 왁스 제거 효율 및 습식 세정 공정의 최적화에 관한 연구
이재환, 이승호, 김태곤, 박진구
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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강흡착질 정화단계가 포함된 PSA공정의 성능평가
서성정, 서성섭
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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Cleanliness Evaluation of Electronic Parts Using Ozonized DI Water Rinse System
하순효, 한종필, 이병철, 최진열, 강두환
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
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Adsorption of Dyes on Novel Silica Nanotube, IAM-1
서영희, 박상언, 한상철, 문혜민
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
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니켈 도금 공정에서 발생하는 니켈염 회수에 관한 이온교환 시스템 연구|A Study on Ion Exchange System to Recovery Nickel Salt from Plating Rinse water
엄태형,이진우,이창환,이철호|Tae-Hyoung Eom,Jin-Woo Lee,Chang-Hwan Lee,Choul-Ho Lee
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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CO2 PSA공정에서 세정기체의 가열효과|Effect of Rinse Gas Temperature in the CO2 PSA Process
최재호, 최재욱, 이화웅, 나병기, 송형근|Jae-ho Choi, Jae-wook Choi, Hwaung Lee, Byung-Ki Na, Hyung Keun Song
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
