| 8 |
변형된 delta형 LQG 제어기술을 이용한 12인치 급속열처리장치의 온도 균일도 제어
이세찬, 원왕연, 지상현, 나병철, 이광순
한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
| 7 |
Identification of MIMO State Space Model in Delta-form
원왕연, 이광순
한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
| 6 |
Combined Run-to-Run and Real-time Multivariable Control for Wafer Temperature Uniformity in a 12-inch RTP Equipment
원왕연, 윤우현, 이광순, 지상현, 나병철, 이세찬
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
| 5 |
RTP 시스템에서 웨이퍼의 온도 균일도 제어|Control of Wafer Temperature Uniformity in RTP System
안효진,양대륙,이광순|Hyo-Jin Ahn,Dae-Ryook Yang,Kwang-Soon Lee
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
| 4 |
반복 학습 제어 기법을 이용한 고속 열처리공정의 온도 균일 제어|Control of Wafer Temperature Uniformity in Rapid Thermal Processing using an Optimal Iterative Learning Control Technique
이진호, 이광순, 최진훈|Jinho Lee, Kwang Soon Lee, Jinhoon Choi
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
| 3 |
RTP 시스템내의 웨이퍼 온도 균일도를 위한 모델링 및 모사|Modeling and Simulation for Wafer Temperature Uniformity in RTP System
박형진, 이정석, 박선원|Hyungjin Park, Jeongseok Lee, Sunwon Park
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
| 2 |
차수감소 Q-ILC를 이용한 고속 열처리 공정의 온도제어|The Temperature Control of Rapid Thermal Processing using Reduced-order Q-ILC
정영석, 이동욱, 이광순|Young Suk Jung, Dong Uk Lee, Kwang Soon Lee
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
| 1 |
RTP 공정에 대한 모델링 및 제어|Modeling and Control of Rapid Thermal Processing
박형진, 복진광, 박선원|Hyung-Jin Park, Jinkwang Bok, Sunwon Park
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
