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CF4 plasma를 이용한 MoS2 thin film 식각 방법
윤덕현, 전민환, 염근영
한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
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Statistical variable selection of OES signal for identifying key process characteristics in plasma etching
하대근, 구준모, 박담대, 노현준, 유상원, 한종훈
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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플라즈마 에칭 공정에서의 Model Predictive Control기법을 이용한 컨트롤 전략
구준모, 하대근, 한종훈
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Low cost and highly reliable fabrication process of nanodevice for bioapplications
정희춘, 김진태, 유찬석, 안의진, 유혜성, 이수한, 최대근, 임연호
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Multiscale simulation of plasma etching process from molecular interactions to feature profile
육영근, 유혜성, 조덕균, 장원석, 유동훈, 최광성, 임연호
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Advanced 3D feature profile simulation for realistic plasma etch studies
육영근, 유동훈, 조덕균, 최광성, 임연호, 장원석, 이세아, 천푸름
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
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Realistic and real-time contact hole etch process simulation: 3D-SPEED
육영근, 임연호, 장원석, 유동훈, 최광성, 조덕균, 이세아
한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 |
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Multi-GPUs based 3D feature profile simulation for fluorocarbon plasma etch process
조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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Large scale feature profile simulation for plasma etch process of high aspect ratio contact hole
육영근, 유동훈, 장원석, 최광성, 조덕균, 천푸름, 이세아, 임연호
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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GPU based 3D feature profile simulation for plasma etch process
조덕균, 유동훈, 육영근, 장원석, 천푸름, 이세아, 임연호
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
