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펄스 플라즈마 CVD에 의해 증착된 비정질 탄소박막의 구조적 특성 연구
김동선, 김용란, 김방간
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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전계유도 방향성 결정화 특성과 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 제작|Characterization of Field Aided Lateral Crystalization(FALC) and fabrication of low temperature poly-si TFT
장현웅, 김현철, 최덕균
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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CMOS 적용을 위하여 질소플라즈마 효과를 이용한 초박막 HfO2 게이트 유전체의 전기적, 신뢰성 특성 평가|Electrical and reliability characteristics of ultra-thin HfO2 gate dielectrics by N2 plasma treatment for CMOS application
김전호, 최규정, 윤순길, 이원재, 김진동
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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플라즈마 화학기상증착법으로 성장시킨 탄소나노튜브의 미세구조 분석|Microstructure analysis of carbon nanotubes grown by plasma enhanced chemical vapor deposition
윤종성, 윤존도, 박종봉, 박경수
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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전계 유도 방향성 결정화법을 이용한 Si1-xGex 박막의 결정화|Crystallization of Si1-xGex Films Using Field Aided Lateral Crystallization Method
조기택, 최덕균
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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Ni 금속 촉매를 이용한 비정질 실리콘 박막의 결정화에서의 전계의 영향|Influence of the electric field on the crystallization of amorphous silicon thin film using Ni catalyst
강선미, 최덕균
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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플라즈마화학증착법으로 제조된 PbTiO3와 PbZrO3 적층박막구조에서의 PZT 형성
이원규, 우성일
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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플라즈마화학반응을 이용한 탄화수소 개질공정에 관한 연구|A Study on Reforming Processes of Hydrocarbons by Plasma-chemical Reactions
장홍기,남진호,최창식,이성풍|Hong-Ki Chang,Jin-Ho NamChang-Sik Choi,Seong-Poong Lee
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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TEOS/O2 플라즈마 반응기에서 실리카 미립자 성장분석|Analysis on Silica Particle Growth in TEOS/O2 Plasma Reactor
홍성택, 김동주, 김교선|Sung-Taik Hong, Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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저온 플라즈마에서의 NOx 전환율 및 입자 특성 분석|Analysis on NOx Conversion and Particle Characteristics in Low Temperature Plasmas
김성민, 김동주, 김교선|Sung-Min Kim, Jung-Hwan Park, Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
