화학공학소재연구정보센터
번호 제목
17 High density plasma reactive ion etching of Co2MnSi thin films using a CH3OH/Ar gas mixture for magnetic random access memory applications
아드리안, 최지현, 황수민, 정지원
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
16 Comparison of etch characteristics of Ru thin films using CH3OH/Ar and CH4/O2/Ar plasmas
황수민, 아드리안, 최지현, 정지원
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
15 Application of new acrylamide-based block copolymers to next generation nanolithography
한양규
한국고분자학회 2014년 가을 학술대회
14 Etching Characteristics by using Pulse-Time-Modulation in 60 MHz/2 MHz Dual-Frequency Capacitive Coupled Plasma
이철희, 염근영
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
13 Etching Properties of Magnetic Tunnel Junction Materials using CO/NH3 Gas Mixtures in Pulsed-bias ICP System
윤덕현, 염근영
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
12 Controlled alignment of block copolymers with solvent annealing using top coating layer
김은진, 이광희, 손정곤
한국고분자학회 2013년 가을 학술대회
11 Puled Plasma를 이용하여60 MHz/2 MHz Dual-Frequency Capacitive coupled plasma에서 SiO2의 식각특성에 관한 연구
염근영, 전민환, 김회준
한국재료학회 2013년 봄 학술대회
10 Self-Assembly of Block Copolymer Blends as a Route to Inorganic Nanostructure
김경태, 이진욱, 김옥영, 김승현
한국고분자학회 2012년 가을 학술대회
9 nMOS high-k gate stack 형성을 위한 capping layer의 선택적 에칭
오지숙, 배진성, 서동완, 임상우
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회
8 Highly tunable block copolymer self-assembly for nanopatterning
정연식, 정재원
한국재료학회 2011년 봄 학술대회