| 번호 | 제목 |
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Metal Thin film Prepared by Atomic Layer Deposition for Contact Application of Nanoscale Device 방성환, 이한보람, 김형준 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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PE-ALD를 이용한 SnO2 박막의 표면 특성|Surface Properties of PE-ALD SnO2 Thin Film 이운영, 최용국, 박진성 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
