| 581 |
Nano-catalysts fabrication via atomic layer deposition
홍순욱
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
| 580 |
마이크로볼로미터 적외선 센서용 VOx 박막 제조 및 특성 분석
김운정, 한승익, 신희철, 임석원, 서형탁
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
| 579 |
원자층 증착 공정의 증착 온도에 따른 Hf0.5Zr0.5O2 박막의 분극 반전 특성에 대한 영향
이동현, 박민혁
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
| 578 |
Mo 하부전극을 통한 Wake-up 현상 억제 Hf0.5Zr0.5O2 캐패시터의 제작 및 특성 평가
유근택, 김세현, 박주용, 이동현, 박민혁
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
| 577 |
원자층 증착법(ALD)을 이용한 Vanadium oxide 박막 제작 및 전기적 특성 분석
이왕곤, 서형탁, 최효빈, 신희철, 안영환, 김지웅
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
| 576 |
Halogen-free Atomic Layer Etching of Metal Oxides
이정빈, 노재홍, 박태주, 김우희
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
| 575 |
Direct Photolithography of Quantum Dot Films by Diethylzinc Treatment for High-Resolution Emissive Display Applications
조성용
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
| 574 |
원자층 증착 공정으로 형성된 SnO2 박막에 대한 Al2O3 슈퍼사이클 효과
김지웅, 이왕곤, 안영환, 김지수, 서형탁
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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Ti 박막의 Direct Scavenging Effect를 이용한 Mo/Hf0.3Zr0.7O2/Si capacitor의 반강유전성 개선에 대한 연구
김세현, 박민혁
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
| 572 |
Control of electric characteristic of atomic layer deposited Al-doped SnO2 using annealing process
이성권, 김지수, 이도욱, 김병욱, 전형탁
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
