| 199 |
Development of Non-Amine-based Cleaning Solution for Post-Cu CMP(Chemical Mechanical Planarization) Application
Byoung-Jun cho, Xiong Hailin, Jin-Goo Park
한국재료학회 2013년 가을 학술대회 |
| 198 |
Ribbon width-dependent electrical transport of graphene nanoribbons
김강미, 함문호
한국재료학회 2013년 가을 학술대회 |
| 197 |
3D feature profile simulation coupled with realistic surface kinetic chemical reaction for pulsed etch process in fluorocarbon plasmas
조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
| 196 |
Plasma surface kinetic studies for high-aspect ratio contact hole etch profile simulation
천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 권득철, 임연호, 장원석
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
| 195 |
Plasma surface reaction modeling coupled with global bulk plasma model in fluorocarbon plasmas
이세아, 천푸름, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 권득철, 임연호, 장원석
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
| 194 |
이온 주입된 photoresist stripping 공정에서 발생된 잔존물의 구조적 분석
노진규, 조성훈, 원수현, 최병호
한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
| 193 |
Puled Plasma를 이용하여60 MHz/2 MHz Dual-Frequency Capacitive coupled plasma에서 SiO2의 식각특성에 관한 연구
염근영, 전민환, 김회준
한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
| 192 |
Facile generation of silica nanotubes using porous Si process and wet chemical oxidation at room temperature
Sung-Soo Yoon, Dahl-Young Khang
한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
| 191 |
r-plane 사파이어 기판 위에 성장시킨 a-plane GaN의 탄질화를 통한 ELOG 방법
이창민, 이제행, 이도한, 김대식, 조성찬, 변동진
한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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Self-Assembly of Block Copolymer Blends as a Route to Inorganic Nanostructure
김경태, 이진욱, 김옥영, 김승현
한국고분자학회 2012년 가을 학술대회 |
