| 번호 | 제목 |
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Tetrakis (dimethylamido) titanium을 이용한 TiN 유기금속 화학증착에서의 기상반응에 대한 연구|Study on the Gas Phase Reaction in Metal-Organic Chemical Vapor Deposition of TiN 윤주영, 박만영, 이시우|Ju-Young Yun, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee 한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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TDEAT를 이용한 TiN 유기금속 화학증착에서 수소와 질소 플라즈마 효과|The Effects of H2 and N2 Plasmain Metal Organic Chemical Vapor Deposition of TiN using TDEAT 윤주영, 이시우|Ju-Young Yun, Shi-Woo Rhee 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
