| 번호 | 제목 |
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| 5 |
Atomic Layer Deposition of low-k SiCN Thin Films using DTDN-2 precursor 김현준, 임경필, 정찬원, 조해원, 전형탁 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
| 4 |
Cu CMP 공정 후 유기산 세정액의 개발 및 영향성 연구 김승욱, 이상원, 배기호, 김재정 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
| 3 |
Cu(dmamb)2 전구체를 이용한 구리박막 제조 시 캐리어가스가 박막성장에 미치는 영향 최종문, 이도한, 진성언, 이승무, 변동진, 정택모, 김창균 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
| 2 |
Cu(dmamb)2를 이용한 CVD Cu 박막의 제조 시 증착온도가 박막의 미세구조에 미치는 영향 최종문, 변동진, 이도한, 진성언 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
| 1 |
CeO2 thin film deposition on SiO2 particles by MOCVD method for abrasive particles of CMP 안재희, 이관영 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
